來(lái)源:
傳感器技術(shù)是現(xiàn)代測(cè)量和自動(dòng)化系統(tǒng)的重要技術(shù)之一，從宇宙開(kāi)發(fā)到海底探秘，從生產(chǎn)的過(guò)程控制到現(xiàn)代文明生活，幾乎每一項(xiàng)技術(shù)都離不開(kāi)傳感器，因此，許多國(guó)家對(duì)傳感器技術(shù)的發(fā)展十分重視，如日本把傳感器技術(shù)列為六大核心技術(shù)（計(jì)算機(jī)、通信、激光、半導(dǎo)體、超導(dǎo)體和傳感器）之一。在各類(lèi)傳感器中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定可靠、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn)，可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強(qiáng)的測(cè)量與控制。除此以外，還廣泛應(yīng)用于水利、地質(zhì)、氣象、化工、醫(yī)療衛(wèi)生等方面。由于該技術(shù)是平面工藝與立體加工相結(jié)合，又便于集成化，所以可用來(lái)制成血壓計(jì)、風(fēng)速計(jì)、水速計(jì)、壓力表、電子稱(chēng)以及自動(dòng)報(bào)警裝置等。壓力傳感器已成為各類(lèi)傳感器中技術(shù)最成熟、性能最穩(wěn)定、性?xún)r(jià)比最高的一類(lèi)傳感器。因此對(duì)于從事現(xiàn)代測(cè)量與自動(dòng)控制專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員必須了解和熟識(shí)國(guó)內(nèi)外壓力傳感器的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)。一、壓力傳感器的發(fā)展歷程現(xiàn)代壓力傳感器以半導(dǎo)體傳感器的發(fā)明為標(biāo)志，必優(yōu)傳感認(rèn)為半導(dǎo)體傳感器的發(fā)展可以分為四個(gè)階段：（1）發(fā)明階段（1945-1960年）：這個(gè)階段主要是以1947年雙極性晶體管的發(fā)明為標(biāo)志。此后，半導(dǎo)體材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用。史密斯（C.S.Smith）與1945發(fā)現(xiàn)了硅與鍺的壓阻效應(yīng)，即當(dāng)有外力作用于半導(dǎo)體材料時(shí)，其電阻將明顯發(fā)生變化。依據(jù)此原理制成的壓力傳感器是把應(yīng)變電阻片粘在金屬薄膜上，即將力信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)進(jìn)行測(cè)量。此階段最小尺寸大約為1cm。擴(kuò)散硅壓力傳感器 必優(yōu)傳感網(wǎng)整理（2）技術(shù)發(fā)展階段（1960-1970年）：隨著硅擴(kuò)散技術(shù)的發(fā)展，技術(shù)人員在硅的（001）或（110）晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴(kuò)散在晶面上，然后在背面加工成凹形，形成較薄的硅彈性膜片，稱(chēng)為硅杯。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn)，...
發(fā)布時(shí)間:
2017
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